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Impact of Etching Conditions on the Sidewall Quality of InGaN/GaN Micro-Leds Investigated by Cathodoluminescence Imaging

Stefan Wolter, Vladislav Agluschewitsch, Silke Wolter, Frederik Luessmann,Christoph Margenfeld, Georg Schoettler,Jana Hartmann,Andreas Waag

JOURNAL OF APPLIED PHYSICS（2024）

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