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Metal-Organic Framework-Based NF3 Nanotrap for the Separation of NF3 and CF4.

Zi-Wen Fan,Yue Wang, Jieyu Liu, Zi-Tong Cheng,Changhong Wang,Zheng Niu

ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES（2024）

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关键词

MOF,NF3,CF4,electronic specialty gas,separation and purification

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