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Evaluation of AlN Insertion Layer on the Properties of Heterogeneous Integrated Ga2O3 Films on Sapphire

Anfeng Wang,Ming-Qian Yuan, Yun-Duo Guo,Lin Gu,Yi Shen, Chengxi Ding,Xuejun Yan,Qing-Chun Zhang,Li Zhang,Xiao-Dong Zhang,Hong-Ping Ma

JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH（2025）

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关键词
Sapphire,AlN,MOCVD,TDTR,Ga 2 O 3
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