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High-Reliability HfO2/ZrO2 Superlattice Ferroelectric Poly-Si FinFET Memory Device Utilizing Green Laser Crystallization

Chen-You Wei, Yung-Teng Fang,Yi-Ju Yao,Chih-Chao Yang,Fu-Ju Hou, Chien-Chun Chen,Yung-Hsien Wu,Yung-Chun Wu

IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS（2024）

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关键词
FeFET,green laser crystallization,LTPS,HfO2/ZrO2 superlattice
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