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New Design of Operational MEMS Bridges for Measurements of Properties of FEBID-based Nanostructures

Bartosz Pruchnik,Krzysztof Kwoka,Ewelina Gacka,Dominik Badura,Piotr Kunicki,Andrzej Sierakowski,Pawel Janus,Tomasz Piasecki,Teodor Gotszalk

Beilstein Journal of Nanotechnology（2024）

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关键词

FEBID,MEMS,MEMS bridge,nanowires,opMEMS

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