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4H-Sic Ultraviolet Photodetector Array with Vertical MSM Configuration

Yingze Ji,Guohui Li, Haokun Liu,Shan-Ting Zhang,Wenyan Wang,Dongdong Li,Yanxia Cui

JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS（2025）

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关键词

SiC,ultraviolet (UV),photodetector array,TiN,sneak path current

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