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Measurements of dislocations in 4H-SiC with rocking curve imaging

Ahmar Khaliq,Felix Wittwer,Niklas Pyrlik,Giovanni Fevola,Svenja Patjens, Jackson Barp, Gero Falkenberg,Sven Hampel,Michael Stuckelberger,Jan Garrevoet,Dennis Bruckner,Peter Modregger

arxiv（2024）

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