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NH3/N2复合热退火技术改善高浓度Mg掺杂GaN材料性能

JIANG Zonglin,YAN Dan,ZHANG Ning,WEI Tongbo,WANG Junxi,WEI Xuecheng

Chinese Journal of Luminescence（2024）

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关键词
gallium nitride,Mg doped,thermal annealing,ammonia
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