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The Consequences of Random Sequential Adsorption for the Precursor Packing and Growth-Per-Cycle of Atomic Layer Deposition Processes

I. Tezsevin, J. H. Deijkers,M. J. M. Merkx,W. M. M. Kessels,T. E. Sandoval,A. J. M. Mackus

The Journal of Physical Chemistry Letters（2024）

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