谷歌浏览器插件
订阅小程序
在清言上使用
VIPCreated with Sketch.

Synthesis of Low-K SiONC Thin Films by Plasma-Assisted Molecular Layer Deposition with Tetraisocyanatesilane and Phloroglucinol

Gi-Beom Park,Hae Lin Yang, Ji Min Kim, Hyolim Jung,Geonho Baek, Chang-Kyun Park,Jin-Seong Park

Nanotechnology（2024）

引用 0|浏览1
关键词
plasma-assisted molecular layer deposition (PA-MLD),low-k dielectrics,SiONC
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要