НАПРЯЖЕНИЕ И АДГЕЗИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ПЛЕНОК 3c–sic, ВЫРАЩЕННЫХ МЕТОДОМ ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА КРЕМНИЕВЫХ ПОДЛОЖКАХ
semanticscholar(2015)
AI Read Science
Must-Reading Tree
Example

Generate MRT to find the research sequence of this paper
Chat Paper
Summary is being generated by the instructions you defined