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Study on 100 Khz Repetitive Frequency Tin Droplet Targets

Sun Haiyi,Wang Guande, Li Xuehong, Peng Kailun, Zou Jiajie,Peng Yujie,Wang Cheng,Leng Yuxin,Xu Jinghao,Fan Lili,Yuan Fenghua,Li Zhongliang,Bu Yang,Wang Tianze, Zhang Ziyi, Xin Gang,Lin Nan

LASER & OPTOELECTRONICS PROGRESS（2023）

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关键词

extreme ultraviolet,lithography source,droplet generator,tin droplets

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