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高g值压阻式加速度计设计与仿真

LI Yongwei,GUO Jinqin,QIAO Junfu, LI Feng,QIAO Zhimin, ZHANG Ye, LU Jing, ZHANG Jian,YAN Shasha

Semiconductor Optoelectronics（2023）

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关键词
piezoresistive,high g accelerometers,finite element simulation
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