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表面改質を利用した単結晶窒化ガリウム (GaN) 基板の高速・低ダメージ加工

Masayoshi Mizutani, Yoshifumi TAKASU,Keita Shimada,Tsunemoto Kuriyagawa

Seimitsu Kōgakkaishi（2023）

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关键词
gan
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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