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Characterization of Superconducting Through-Silicon Vias As Capacitive Elements in Quantum Circuits

T. M. Hazard,W. Woods,D. Rosenberg,R. Das,C. F. Hirjibehedin,D. K. Kim,J. M. Knecht,J. Mallek,A. Melville,B. M. Niedzielski,K. Serniak,K. M. Sliwa,D. R. W. Yost,J. L. Yoder,W. D. Oliver,M. E. Schwartz

APPLIED PHYSICS LETTERS（2023）

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关键词
Semiconductor Quantum Dots,CMOS Scaling
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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