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自己終端湿式エッチングプロセスのためのAlGaN/GaNヘテロ構造電界効果トランジスタに及ぼすGaN中間層厚さの影響【Powered by NICT】

Liuan Li,He Li,Fan Yang,Zijun Chen,Xiaorong Zhang,He Li,Zhisheng Wu,Baijun Zhang,Liu Yang

IEEE Conference Proceedings（2016）

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