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Surface characterization of ultra low-k SiCOH films in inductively coupled fluorocarbon plasmas

Hoonbae Kim, Hee-Jin Jang,Donggeun Jung,Heeyeop Chae

한국표면공학회 학술발표회 초록집（2013）

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关键词
fluorocarbon plasmas
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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