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Multi-Gate In-Plane Actuated NEMS Relays for Effective Complementary Logic Gate Designs

Bennett Smith,Md. Ataul Mamun,Benjamin Horstmann,Umit Ozgur,Vitaliy Avrutin

JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS（2023）

引用 3|浏览5
关键词
NEMS,nanoactuators,relays,logic gates,optimization methods
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