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Concept and technology for full monolithic MOSFET and JBS vertical integration in multi-terminal 4H-SiC power converters

Ralph Makhoul,Nour Beydoun,Abdelhakim Bourennane,Luong Viêt Phung,Frédéric Richardeau,Mihai Lazar, P. Godignon,Dominique Planson,Hervé Morel, David Bourrier

HAL (Le Centre pour la Communication Scientifique Directe)（2023）

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关键词
full monolithic mosfet,vertical integration,multi-terminal,h-sic
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