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Impact of SiO 2 Hardmask on the DC and RF Characteristics of InP HEMTs

Fugui Zhou,Ruize Feng,Shurui Cao,Zhiyu Feng,Tong Liu,Yongbo Su,Jingyuan Shi, Wuchang Din,Zhi Jin

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE-MATERIALS IN ELECTRONICS（2023）

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关键词
Double-Gate Transistors,Metal Gate Transistors
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样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
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