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スパッタしたTiNゲートを持つSi上のAlGaN/GaN高電子移動度トランジスタ【Powered by NICT】

Y Li, G I Ng,S Arulkumaran,Z H Liu, K Ranjan, W C Xing,K S Ang, P, J Kennedy

physica status solidi (a)（2017）

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