尘埃粒子计数器检校探讨

BAO Haixia,LI Long,WU Zhenyi,WEI Enze,SHI Sujuan,GUAN Ying

Metrology & Measurement Technique（2023）

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摘要

洁净室环境中,尘埃粒子计数器通常用于监测生产线的颗粒污染,其检测结果是洁净室洁净度等级划分的依据.由于空气中不同大小的颗粒存在不同的相关风险,颗粒的数量、大小的检测及检测结果的准确性,对保证生产质量至关重要,因此,需进行定期校准.本文依据ISO 21501-4:2018,对其检测、校准过程中遇到的问题进行分析和探讨.

关键词

airborne particle counter,ISO 21501-4,testing,calibration

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