用于MEMS振镜激光扫描的显微物镜设计

WANG Xingyu,YANG Zhaoqing,XUE Meng,GUO Hanming

Optical Instruments（2023）

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摘要

为满足微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)二维激光扫描系统对显微物镜小入瞳直径、大入射角度、大视场的要求,利用光学设计软件Zemax设计了一款入瞳直径为 1.1 mm,可匹配MEMS二维振镜±18°大扫描角度的近红外无限共轭微型显微物镜.该物镜总长小于 23 mm,数值孔径为 0.4,分辨率为 1.26 μm,工作距为 900 μm,各项像差校正良好,满足使用需求.设计结果表明,该微型显微物镜可满足便携式皮肤检测仪器的MEMS二维振镜激光扫描系统的应用要求.

关键词

optical design,microscope objective,near infrared,large field of view,MEMS galvanometer

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