NMP/PVP-MWCNTs湿度传感器制备与测试

碳纳米管制备敏感薄膜时往往会因其分散性差,无法保证纳米薄膜的均匀性,从而影响传感器的性能.使用N-甲基吡咯烷酮(NMP)与聚乙烯吡咯烷酮(PVP)作为分散剂对多壁碳纳米管进行表面活性处理,制备以多壁碳纳米管为湿敏材料的电阻型湿度传感器.传感器用微机电系统(MEMS)工艺制备叉指电极作为湿敏电阻,在 100℃下将多壁碳纳米水溶液组装在电极上,使用原子力显微镜(AFM)、扫描电子显微镜(SEM)对湿敏薄膜进行形貌表征.经测试,传感器线性度为 0.99806,灵敏度为42.99923 Ω/％,相对湿度20％～70％循环测试时响应时间为5 s,恢复时间为6 s,且传感器具有良好的重复性和稳定性.