溶胶凝胶ZrO2/SiO2宽带减反膜的制备与性能

Shen Bin, Zhang Xu,Xiong Huai,Li Haiyuan,Xie Xinglong

Acta Optica Sinica（2023）

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摘要

采用溶胶凝胶法制备得到以正丙醇锆和正硅酸乙酯为前驱体的ZrO2和SiO2溶胶,通过TFCalc光学薄膜软件模拟了ZrO2/SiO2三层"宽M型"基频二倍频减反膜,并使用提拉法制备得到了该均匀膜层.三层减反膜在527 nm和1053 nm处的透过率约为 99.5%,且透过率大于 99%的波长范围均超过 150 nm.经热处理后的膜层表面均方根粗糙度为1.34 nm,表面平整性良好;并运用1-on-1激光损伤阈值测试方法测得该减反膜的零几率激光损伤阈值达到36.8 J·cm-2(1064 nm,10.7 ns).

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