Design of high voltage amplifier for thousand-element adaptive piezoelectric deformable mirror
Optics and Precision Engineering(2022)
摘要
为äºæ»¡è¶³å¤§åå°åºæè¿éé«å辨çæåçéæ±ï¼éè¦å©ç¨èªéåºå å¦ææ¯å¯¹å¤§æ°æ¹æµé æçæ³¢å误差è¿è¡æ ¡æ£ãåçµåå½¢éæ¯èªéåºå å¦ç³»ç»çå ³é®é¨ä»¶ï¼é对大åå°åºé«å辨çæåæè¿éä¸ååå 级åçµåå½¢éçé«åé«é驱å¨é®é¢ï¼è®¾è®¡äºé«æ§è½åçµé¶ç·é«åæ¾å¤§å¨ã该é«åæ¾å¤§å¨éç¨åºäºé«éä½åè¿ç®æ¾å¤§å¨ååç«åçå¨ä»¶ææ两级æ¾å¤§ç»æï¼å®ç°åçµé¶ç·çé«ç²¾åº¦å¤§åç驱å¨ãç¸æ¯äºéæè¿æ¾å¨ä»¶ææç驱å¨ç³»ç»ï¼è¯¥é«åæ¾å¤§å¨å ·æ驱å¨è½åæ´å¼ºãææ¬æ´ä½çä¼å¿ï¼éç¨äºé©±å¨ééè¾å¤çèªéåºåçµåå½¢éç³»ç»ãå®éªç»æ表æï¼æ¬æ设计çé«åæ¾å¤§å¨å¯ä»¥å®ç°120 Vè¾åºï¼é©±å¨0.33 μF容æ§è´è½½æ¶-3 dB带宽达å°5 000 Hzï¼è¾åºååºæ¶é´â¤100 μsã该é«åæ¾å¤§å¨è½å¤æ»¡è¶³ååå 级åçµåå½¢éçåºç¨è¦æ±ã
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关键词
high voltage amplifier,high voltage,thousand-element
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