Al基反射膜的激光损伤阈值研究
Optical Technique（2023）
摘要
为研究金属Al保护、单周期及双周期增强反射膜在5ns脉宽的532nm激光器下的激光损伤阈值(LIDT),采用Comsol软件进行仿真及分析,仿真过程引入SiO2和Ta2O5的拉伸强度(膜层断裂应力)作为阈值条件,得到三种膜系的损伤阈值分别为0.318J/cm2、1.325J/cm2和3.382J/cm2,通过搭建实验平台进行激光阈值测试,采用1-on-1模式,选取50％概率的激光损伤点作为损伤阈值,测得激光功率分别为0.288J/cm2、1.232J/cm2及3.152J/cm2,与仿真结果较为接近,说明采用拉伸强度分析的该类模型更符合实际损伤,为此类膜系在实际应用中阈值的预测提供了理论基础.
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