Novel SAW Temperature Sensor with Pt/Ti/AlN/Mo/AlN/Si Structure for High Temperature Application
CHEMOSENSORS（2023）
关键词
SAW sensor,high temperature,electrode metallization rate,annealing
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要
CHEMOSENSORS（2023）