In Situ Diagnostics of the Si Etching Structures Profile in ICP SF6/C4F8 Plasma: Macrostructures
Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films（2023）
关键词
Plasma Etching,Atomic Layer Etching
AI 理解论文
溯源树
样例
生成溯源树，研究论文发展脉络
Chat Paper
正在生成论文摘要