基于 16×4阵元CMUT面阵的三维超声反射成像
Micronanoelectronic Technology（2023）
摘要
为实现非接触式三维超声反射成像,搭建了基于16×4阵元电容式微机械超声换能器(CMUT)面阵的反射成像系统.利用面阵上单个阵元发射、所有阵元接收的方式对硅油中的铝块进行了三维成像测试.采用B模式及二次谐波两种成像算法分别对来自铝块的反射信号进行处理,获取被测物的三维图像及对应的二维切片.基于16×4阵元CMUT面阵的反射成像系统能够确定铝块的位置,实验B模式图像和二次谐波图像中铝块与换能器的距离重建偏差分别为3.63％及1.47％.该系统可实现对被测物的三维反射成像,且三维反射图像中被测铝块的表面清晰可见,重建偏差小,信噪比高.
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