基于衍射色散原理的光谱共焦位移测量技术综述
Semiconductor Optoelectronics（2023）
摘要
位移检测技术是几何量精密测量的基础,在当代精密制造领域应用广泛.光谱共焦位移测量技术具有对环境杂散光、被测物倾斜、材料类型不敏感,测量频率高以及分辨率高等优点,可以检测位移量、表面粗糙度、三维形貌以及单层或多层透明材料的厚度,在精密位移测量领域中占据重要地位.近年来,利用衍射光学元件提高光学系统性能的光谱共焦测量技术被广泛研究.文章综述了基于衍射色散原理的光谱共焦位移测量技术的研究进展.首先,介绍了光谱共焦位移测量原理和衍射光学元件的色散特性;其次,阐述了基于衍射色散原理的光谱共焦位移测量技术的发展历史及研究进展;最后展望了该技术的发展趋势.
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