晶格失配对InAs基室温中波红外探测器性能的影响
Laser & Infrared（2023）
摘要
采用液相外延技术生长了InAs基室温红外探测器件材料,通过光学显微镜、扫描电子显微镜、X射线衍射仪分析了外延材料表面形貌、截面形貌与晶格失配的关系.分析发现,不恰当的晶体晶格常数匹配度会导致材料表面形貌变差,降低材料的结晶质量,晶格失配在0.22％左右的InAs基外延材料表面形貌较好,缺陷少,晶体质量较好.在此基础上,成功制备出室温探测率D*为6.8×109 cm·Hz1/2·W-1 的InAs基室温中波红外探测器,这一性能与国际上红外探测器领军企业美国 Teledyne Judson Technologies 和日本滨松株式会社的商用InAs基红外探测器性能处于同等水平.
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