高温MEMS薄膜热流传感器研究进展

Guo Yixue,Zhang Meiju,Huang Manguo,Gao Xiangxiang,Guo Linqi,Zhang Congchun

Micronanoelectronic Technology（2023）

引用 0|浏览0

暂无评分

摘要

对可用于高温环境的MEMS薄膜热流传感器(TFHFS)的测量原理、结构设计、材料成分以及制造技术进行了简单阐述,分别介绍了半无限几何、热阻式、热电堆和横向热电效应型TFHFS的结构特点和应用优势.归纳讨论了国内外科研团队研制的各种TFHFS的量热法、传感方式、结构、材料以及测量模式,按照热敏材料分为金属和合金型、陶瓷和新型聚合物衍生陶瓷型两类,重点关注TFHFS的高温稳定性、响应时间、灵敏度等性能.最后,总结了目前TF-HFS面临的技术难题和发展趋势,可为应用于更严酷环境的高温薄膜热流测量技术提供参考.

AI 理解论文

溯源树

样例

生成溯源树，研究论文发展脉络

Chat Paper

正在生成论文摘要