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Impedance Spectroscopy of Electrostatically Driven MEMS Resonators

Krzysztof Kwoka,Tomasz Piasecki,Karolina Orlowska, Paulina Grabarczyk,Andrzej Sierakowski,Teodor Gotszalk,Ewelina Gacka,Adrianna Piejko,Krzysztof Gajewski

Measurement（2023）

引用 1|浏览14

关键词

MEMS,NEMS,Impedance spectroscopy,Electrostatic actuation

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