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Highly Selective Plasma Etching Technique for Molybdenum

Artem A. Osipov,Nikolai A. Andrianov,Anastasia B. Speshilova,Alina E. Gagaeva,Sarah Risquez,Alexandr Vorobyev,Sergey E. Alexandrov

Plasma Chemistry and Plasma Processing（2023）

引用 1|浏览17

关键词

Molybdenum,Molybdenum etching,Plasma etching,High selectivity,SF6 plasma

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