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Research and development status of Mini/Micro LED mass transfer technology

Wei WANG,Tiantian ZHAO,Qiang LIU, Bangcheng HAN, Pingjuan NIU, Jian SANG

Optics and Precision Engineering（2023）

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摘要

å¯¹å·¨éè½¬ç§»ï¼Mass Transferï¼ MTï¼æ¹æ¡åè¿å¨å®ä½å¹³å°ï¼Motion Positioning Platformï¼ MPPï¼çç ç©¶ç°ç¶åå ¶æªæ¥åå±è¿è¡äºè¯¦ç»éè¿°ãæ ¹æ®è¯çè½¬ç§»æ¹å¼ï¼å°MTæ¹æ¡åä¸ºç²¾åæ¾å-éæ¾ææ¯ãèªç»è£ ææ¯ãæ»è½´è½¬å°ææ¯ãæ¿å å¥ç¦»ææ¯ï¼ç»åè¯çè½¬ç§»æçåè¯çï¼è®ºè¿°äºå½å å¤MTæ¹æ¡çåå±è¿ç¨ãå¨æ¤åºç¡ä¸ï¼ä»å¹³å°æ¯ææ¹å¼ï¼è¯¦ç»ä»ç»äºæºæ¢°æåãæ°æµ®æåãç£æµ®æååæ··åæåçMPPç»æåå·¥ä½åçï¼èèè¿å¨è¡ç¨ãè¿å¨å®ä½ç²¾åº¦çå ç´ ï¼æ¯è¾äºMPPæ§è½çä¼å£ãå±æäºMTæ¹æ¡åMPPææ¯çæªæ¥åå±æ¹åï¼æåºåºäºå¾®åæ¶²æ°åæä»è´¨çæ¿å å¥ç¦»MTåå ·å¤å¨åå°è§åº¦ä¿®æ£ä»¥åè½´åå¾®é«åº¦è°èè½åçâæºæ¢°+ç£æµ®âæ··åæåMPPæ¯Mini/Micro LEDè¯çè½¬ç§»ææ¯çç ç©¶éç¹ã

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关键词

mass transfer,mini/micro

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