基于图形化铌酸钾钠纳米棒阵列的自供电压力传感器
Science China Materials（2023）
摘要
微/纳尺度压力传感器可以检测来自外部环境的压力,分析所施加力的位置,大小和方向.这种压力传感器在电子屏幕、电子皮肤、运动监测、人工触觉系统等多个领域都有很高的应用需求.本文组装了一种可实现二维映射,基于图案化铌酸钾钠纳米棒阵列的压力传感器矩阵.水热合成的正交相铌酸钾钠纳米棒具有优异的柔性和弹性,同时具有较高的压电性能.因此在组装的压力传感器矩阵中,单个单元尺寸低至200 μm,灵敏度可达0.20 V N-1,检测限低至20 g,且器件的稳定性高.空间分离的传感器单元能有效避免交叉干扰,使器件能准确地实现自驱动压力成像,精确地分析外部压力刺激.
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关键词
pressure sensor matrix,lead-free piezoelectric,nanorod arrays,pressure mapping,flexibility
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