化学气相沉积炉用气体预热装置优化设计
wf（2022）
摘要
为提高化学气相沉积炉气体预热装置的预热效率,降低其在炉内反应区的占用空间,提高产品装料量,在现有圆筒式预热装置结构的基础上进行了优化改进,通过改变气体流动方式,达到充分混合预热的目的,并且使气体流通路径长度延长约50％,热辐射面积提高1倍以上.仿真结果表明:综合预热效率较改进前提高了2倍以上.同时,在预热效率相当的情况下,改进后的圆筒式预热装置比多孔板叠加式预热装置节省约20％的装料空间.
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