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Effects of Gas Flow Ratio and Annealing on the Structure and Optical Band Gap of Mo2C Thin Films

Xiu Cao,Jianhui Zhang,Lu Ru,Simin Tao,Jianrong Xiao,Aihua Jiang

Vacuum（2022）

引用 3|浏览7
关键词
Mo2C film,Magnetron sputtering,Gas flow ratio,Annealing,Optical band gap
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