850 nm单模面发射分布反馈式激光器

Li Nanguo,Liu Can, Zhang Pengfei,Xiang Minwen,Tang Bao,Yan Weinian, Kan Qiang,Lu Qiaoyin,Guo Weihua

CHINESE JOURNAL OF LASERS-ZHONGGUO JIGUANG（2022）

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摘要

介绍一种新型的850 nm单模面发射分布反馈激光器(SEDFB).采用浅脊波导表面光栅结构提供足够的光反馈,采用含λ/4相移的二阶光栅在实现面发射的同时获得单纵模特性.采用方形氧化孔径构成无源分布布拉格反射镜(DBR)—有源分布式反馈区(DFB)—无源DBR三段结构,从而减小电流注入的有源区体积,获得了与垂直腔面发射激光器(VCSEL)类似的低阈值特性.对于50 μm有源区长度的SEDFB,其阈值电流为1.8 mA,当注入电流为6.5 mA时,SEDFB的边模抑制比(SMSR)高达47 dB.同时,该激光器在注入电流为9 mA的情况下获得了 17 GHz的弛豫振荡频率.SEDFB实现了准圆形光斑的面发射输出,其远场光斑发散角的半峰全宽约为21°×26°.

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关键词

semiconductor lasers, surface emitting lasers, distributed feedback lasers, surface grating threshold current, single-mode, lasers

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