基于FIB加工和SEM-EDS技术联用对共格BCC/B2高熵合金的元素分布表征分析

BCC/B2高熵合金中体心立方结构(body centered cube,BCC)纳米粒子影响其软磁性能和高温力学性能.然而,扫描电子显微镜-能量色散谱仪(scanning electron microscopy-X-ray energy dispersive spectroscopy,SEM-EDS)难以表征BCC纳米粒子的元素分布.本文利用聚焦离子束(focused ion beam,FIB)和SEM-EDS联用,制备BCC/B2高熵合金的纳米尺度薄片,并对其元素分布进行了研究.结果表明,Al17.65 Co47.06 Fe23.53 Cr11.76高熵合金微观组织是由B2相与共格的BCC相构成,其中BCC粒子约为20～40 nm.对比SEM-EDS对块体试样和FIB制备的纳米尺度的薄片元素分布结果,FIB制备的纳米薄片提高了EDS的分辨率,BCC纳米粒子富集Cr元素,且B2基体相富集Al、Co和Fe元素.电子的加速电压和束流强度影响纳米薄片中BCC纳米粒子元素分布表征结果的准确性,其中30 kV 6.4 nA下元素分布表征结果的准确度最高.