In2O3/ITO薄膜热电偶动态特性研究
Transducer and Microsystem Technologies（2022）
摘要
为研究薄膜热电偶动态响应特性的影响机制,选用不同基底厚度的In2 O3/ITO薄膜热电偶为研究对象.基于理论分析,通过COMSOL软件建立薄膜热电偶的传热模型,对被测薄膜热电偶的温度场分布和动态响应进行有限元分析.搭建以半导体激光器为热源的高温动态标定系统,对三种厚度的薄膜样件进行了动态标定实验.当激光脉宽为10 ms时,100,500,1000μm厚度的薄膜热电偶的时间常数为2.38,4.97,9.17 ms.实验结果证明:薄膜热电偶的动态特性受基底厚度的影响,为薄膜热电偶设计参数的优化、动态特性的提升和后期制备提供了理论依据.
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