SiOxNy/SiNx减反膜对双面PERC单晶硅太阳电池效率提升研究

减反膜应用可降低气—固界面的菲涅尔反射,是提升光电转换效率晶硅太阳电池的有效手段之一.以商业化双面PERC单晶硅太阳电池(尺寸:182mmx182 mm)为研究对象,以SiOxNy(1)/SiNx(3)作为电池正面减反膜改善入射光子利用率.与传统SiNx(4)减反膜相比,SiOxNy(1)/SiNx(3)减反膜可显著降低300 nm～500nm波段内光子反射率,短波段光子减反效果尤为明显.对应电池在标准测试条件下(AM1.5,1000 w·m-2,25℃)所测定平均光电转换效率可达23.227％,高于传统减反膜的电池效率(23.128％).根据SERIS-V1.5软件对QE谱积分电流损失分析结果表明:基于SiOxNy(1)/SiNx(3)减反膜电池电流损失相对采用传统SiNx(4)减反膜电池,反射部分造成的电流损耗可降至0.867 mA·cm-2,且其他电学性能参数如开路电压及填充均得到一定程度改善,但并不实质影响电池背面效率.此外,基于SiOxNy(1)/SiNx(3)减反膜电池规模生产终端EL测试良率与传统减反层电池相当,有望实现规模化生产.