基于单一气源的PECVD方法制备SiC薄膜及其微观结构研究LI Zixi,HUANG Jinglin,XIE Chunping,DENG Chengfu,YI Taimin,YI Yong,DU KaiAtomic Energy Science and Technology（2022）引用 0|浏览43AI 理解论文溯源树样例生成溯源树，研究论文发展脉络Chat Paper正在生成论文摘要
