轻量化扇形X射线微孔器件研制及性能测试

ACTA OPTICA SINICA（2022）

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摘要

扇形X射线微孔器件(MPOS)是一种新型的X射线聚焦器件.相较传统微孔聚焦器件,其具有集成度高、轻量化等优势,在空间X射线探测方面具有应用前景.基于MPOS聚焦理论,设计并研制出MPOS聚焦器件,其微孔内壁粗糙度为0.4～0.5 nm,微孔排列精度约为5.5％.使用点对点X射线测试平台对器件的聚焦能力进行检测,结果表明,在工作电压为5.0 kV,电流为0.1 mA条件下,聚焦焦斑形貌为清晰的类六角星形,角分辨率为7.7'@1 keV.

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关键词

X-ray optics, X-ray micro pore focusing optics, sector, lightweight, X-ray focusing, angular resolution

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