瑞奇-康芒两角度检测法的一种波像差解读方法

瑞奇-康芒法是大口径平面元件面形检测的有效方法.通过分析检测光瞳到被检平面的位置转换关系以及波像差到面形误差的幅值转换关系,分别对检测得到的波像差以及干涉仪离焦产生的Power进行转换处理,利用最小二乘法计算出瑞奇-康芒两角度检测时的干涉仪离焦量,从而获得被检平面的面形误差分布.实验部分给出了第4项到第37项泽尼克多项式分布形式的被检平面面形误差的仿真检测结果的误差分布,其峰谷值和均方根值的相对数值误差的平均值分别为6.22％和3.48％,相对分布误差的平均值分别为28.1％和14.4％并给出了一个随机面形误差的仿真检测结果.此波像差解读方法不存在多项式拟合的误差,适用于任意形状的被检平面通光口径,具有较高的精度,达到了实际工程要求.