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Hydrogen Barriers Based on Chemical Trapping Using Chemically Modulated Al2O3 Grown by Atomic Layer Deposition for InGaZnO Thin-Film Transistors

Yujin Lee,Taewook Nam,Seunggi Seo,Hwi Yoon,Il-Kwon Oh, Chong Hwon Lee,Hyukjoon Yoo,Hyun Jae Kim,Wonjun Choi,Seongil Im,Joon Young Yang,Dong Wook Choi,Choongkeun Yoo, Ho-jin Kim,Hyungjun Kim

ACS Applied Materials & Interfaces（2021）

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