Frequenzkamm-gekoppelte Metrologielaser für den Einsatz in Nanopositionier- und Nanomessmaschinen

U. Blumroder, R. Fusl, E. Manske,P. Kochert, J. Flugge

Messunsicherheit praxisgerecht bestimmen – Prüfprozesse in der industriellen Praxis 2021（2021）

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Messunsicherheitsbetrachtung für die Kalibrierung von keramischen Wärmestromsensoren . . . . . . . . 23

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关键词

nanomessmaschinen,frequenzkamm-gekoppelte

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