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Mechanical Properties of Atomic-Layer-Deposited Al2O3/Y2O3 Nanolaminate Films on Aluminum toward Protective Coatings

Janne-Petteri Niemelä,Barbara Putz,Gustavo Mata-Osoro,Carlos Guerra-Nuñez,Remo N. Widmer,Nadia Rohbeck,Thomas E. J. Edwards,Max Döbeli,Krzysztof Maćkosz,Aleksandra Szkudlarek,Yury Kuzminykh,Xavier Maeder,Johann Michler,Bernhard Andreaus,Ivo Utke

ACS Applied Nano Materials（2022）

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