基于L型悬臂梁的光纤光栅加速度传感器

为了测量低频小信号,提出了一种基于L型悬臂梁的光纤光栅(FBG)加速度传感器,并进行了理论分析,推导出了其灵敏度及谐振频率表达公式.为了得出结构的最优参数,根据理论公式进行了仿真分析得出仿真曲线.根据仿真曲线,选定传感器各个参数,制作出传感器实物,分别对传感器灵敏度幅频响应,线性响应及横向抗干扰性进行了实验测试,实验测试出传感器谐振频率280 Hz,在充装硅油阻尼后测量带宽为1 Hz-240 Hz,测量带宽内响应曲线平坦度在±1.5 dB以内,灵敏度可达到52 pm/g,线性相关性为99.97％,与理论谐振频率290 Hz,灵敏度59 pm/g较吻合,表明了理论分析的正确性,同时传感器具有较好的横向抗干扰性,横向抗干扰性为4.2％,研究表明此传感器可以应用于低频小信号场合的振动测试.